超高真空镀膜手套箱集成系统

2022-08-28 02:36:00

仪器图片:

仪器名称:超高真空镀膜手套箱集成系统

仪器编号:2020010137

采购日期:2019-05-29

采购价格:3,259,800.00

管 理 员:******

生产厂家:Angstrom Engineering

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E-mail:

仪器地址:北区材料工程中心223

所属分组:教学平台

规格型号:EvoVac

设备状态:正常

性能指标及应用范围:

性能指标:

手套箱蒸镀一体机,高真空使电阻蒸发具有高度的方向性,其次,高真空也是薄膜纯度不可或缺的一部分,通过将这些气体的分压泵送到10-6Torr以下范围内,蒸发膜及其器件的纯度大大提高。

应用:实现有机物、无机物和金属膜层的沉积。