仪器图片：

仪器名称：半导体综合测试仪仪器编号：1810287S

采购日期：2018-11-16采购价格：611,000.00

管 理 员：****** 生产厂家：

联系电话：E-mail：

仪器地址：材料环境楼A106所属分组：教学平台

规格型号：FS380设备状态：正常

性能指标及应用范围：

性能指标：

（1） 系统具备4个高精度源测量单元（SMU）单元，4个SMU的电流测量分辨率均至少为0.1 fA；测量精度均至少为30fA；最大直流电流1A，最大脉冲电流3A；

（2）4个SMU的最大输出电压源200V，最小电压测量分辨率0.1uV；

（3） 最大直流功率20W，最大脉冲功率480W，脉冲模式下的最短脉冲宽度50us；

（4） 半导体参数分析仪主机含嵌入式PC： Windows 7操作系统，图形化全套测试软件，可以外接显示器。

应用范围： 主要用于对纳电子器件的源-漏电极的电流-电压响应及门压-电流响应进行高精度-高速表征，进一步获取器件的电阻、迁移率、载流子浓度等信息。