仪器名称：无掩模光刻机                                  仪器编号：2019045984

采购日期：2019-12-02                                    采购价格：978,000元

管 理 员：******                                               生产厂家：

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仪器地址：材料环境楼A106                              所属分组：综合性分析平台

规格型号：Microlab 4A-100 Plus                    设备状态：正常

性能指标及应用范围：

性能指标：

（1） 配置532 nm 单纵模激光器，功率≥30 mW；

（2）数字化功率控制系统，软件控制532功率连续可调（无需改变激光器电压），内置激光功率计和反馈系统，通过软件可以直接输入样品表面功率，可调精确度≤0.1 mW；

（3） 配置10X, 50X,50X长焦物镜（数值孔径≧0.55，工作距离大于9mm）和100x（NA="0.9，工作距离≧300nm）；

（4） 配置XYZ自动平台，扫描范围大于50mm*50mm, 最小步长100 nm。Z轴移动范围≥30 mm，最小步长小于15nm，可实现拉曼快速成像功能。

应用范围： 主要用于进行样品测试得到分子振动、转动方面信息，并应用于分子结构研究的一种分析方法。