仪器名称：聚焦离子束系统                       仪器编号：2020020079

采购日期：2020-11-03                            采购价格：6,308,900.00

管理员：******                                        生产厂家：ThermoScientific

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仪器地址：材料环境楼A106                     所属分组：显微结构分析平台

规格型号：Scios 2 HiVac                         设备状态：正常

性能指标及应用范围：

性能指标：

（1） 离子源种类：液态 Ga 离子源；

（2）交叉点分辨率：3.0nm @ 30kV (采用统计平均值法测量)；

（3） 加速电压：最低加速电压 500V, 最高加速电压为 30 kV；

（4） 束流强度：最小值不高于 1.5pA(含)，最大值。

应用范围： 主要用于进行样品材料原子级微观形貌研究。