仪器名称：高分辨场发射扫描电子显微镜  仪器编号：2020023819

采购日期：2020-11-20                           采购价格：3966000万

管理员：******                                        生产厂家：ZEISS

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仪器地址：材料环境楼A109                    所属分组：教学平台

规格型号：GeminiSEM 300                    设备状态：正常

性能指标及应用范围：

（1） 二次电子分辨率：≤0.7nm@15kV，≤1.2nm@1kV（非样品台减速模式下）；

（2）放大倍率：12-2,000,000 倍（底片放大倍率）,根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准；

（3） 加速电压（非着陆电压或着陆能量）：0.02kV ～ 30 kV，步进 10 V，连续可调（非样品台减速模式)；

（4） 电子枪：肖特基场发射电子枪。

（5）分析型硅漂移电制冷探测器。晶体有效面积不小于 65mm2，超薄窗设计, 无需液氮冷却，仅消耗电能.

（6）能量分辨率：Mn Ka 保证优于 127eV, 元素分析范围不小于: Be4～Cf98。

应用范围： 主要应用于无磁性固态样品形貌与元素分析，材料微观组织分析、取向分析。