电子束蒸发镀膜机.docx

2022-08-27 05:46:00


仪器图片：

仪器名称：电子束蒸发镀膜机

仪器编号：2020019950

采购日期：2020-10-30

采购价格：696,500.00

管 理 员：******

生产厂家：超迈

联系电话：

E-mail：

仪器地址：材料环境楼A106

所属分组：教学平台

规格型号：ZZS500-3/G

设备状态：正常

性能指标及应用范围：

性能指标：

（1）真空系统：极限真空5*10-4Pa，抽速1200L/s；

（2）工件加系统：可放置直径100mm基片；

（3）烘烤系统：最高温度350℃；

（4）蒸发源：功率为8kW。

应用范围：光学精密薄膜制备；难熔金属功能薄膜制备；基底的IBE等离子刻蚀等。