脉冲激光沉积系统

2022-08-27 05:54:00


仪器名称：脉冲激光沉积系统

仪器编号：2019041683

采购日期：2019-12-02

采购价格：2,989,500.00

管 理 员：******

生产厂家：

联系电话：

E-mail：

仪器地址：材料环境楼A106

所属分组：材料制备与加工平台

规格型号：COMPex 201/TorrRHEED30/P350

设备状态：正常

性能指标及应用范围：

性能指标：

(1)激光波长：248nm;

(2)衬底温度范围：室温到800度；

(3)主要制备氧化物薄膜（不含Pb, Cd等有毒元素）