激光分子束外延系统

2022-08-27 05:52:00


仪器名称：激光分子束外延系统

仪器编号：2021007049

采购日期：2021-10-20

采购价格：2,977,000.00

管 理 员：******

生产厂家：

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仪器地址：材料环境楼A106

所属分组：材料制备与加工平台

规格型号：PASCAL/MC-LMBE

设备状态：正常

性能指标及应用范围：

性能指标：

（1）真空度： <1×10-7 Torr。

（2）激光能量范围：50-200mJ。

（3）配备反射式高能电子衍射电子束，可实时监控薄膜生长。

（4）激光加热系统，升温速率：1-50 ℃/min。

应用范围： 主要应用于无机氧化物薄膜的制备。