反应离子刻蚀机

2022-08-27 09:47:00

仪器名称：反应离子刻蚀机

仪器编号：

采购日期：

采购价格：

管 理 员：******

生产厂家：合肥杰硕真空科技有限公司

联系电话：

E-mail：

仪器地址：理生楼B223

所属分组：教学平台

规格型号：

设备状态：正常

性能指标及应用范围：

性能指标：

（1）极限真空：4*10-5pa（环境湿度≤55%）；

（2）刻蚀速率0.1-1um/min；

（3） 样品尺寸5寸单片或小于3寸多片。