手套箱集成蒸镀、清洗系统

2022-08-27 09:44:00


仪器名称：手套箱集成蒸镀、清洗系统

仪器编号：

采购日期：

采购价格：

管 理 员：******

生产厂家：

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E-mail：

仪器地址：材料环境楼A619

所属分组：教学平台

规格型号：MB200MOD

设备状态：正常

性能指标及应用范围：

性能指标：

（1）真空度：2E-7mbar。

（2）蒸镀材料：Al、Al2O3、Ti、Cr、Au 、Pd、 Pt、Cu。

（3）基片尺寸：可放置4”基片。

（4）样品温度：-40℃-250℃。

（5）配有膜厚仪实时对膜厚进行检测，实现对薄膜厚度的精确控制。（6）配备软件操作系统，可编制沉积程序，并可进行手动和自动制程。

应用范围： 该系统同时具有热蒸发镀膜和电子束蒸发镀膜的能力，另外该系统位于惰性气氛手套箱内，大大减少了氧气、水蒸气等空气组分对样品的影响，可实现多种金属及氧化物的高质量蒸镀。