原子层沉积系统

2022-08-27 05:59:00


仪器图片：

仪器名称：原子层沉积系统

仪器编号：1607467S

采购日期：2016-11-16

采购价格：600,000.00

管 理 员：******

生产厂家：

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E-mail：

仪器地址：材料环境楼A108

所属分组：材料制备与加工平台

规格型号：PEALD-100A

设备状态：正常

性能指标及应用范围：

性能指标

（1）衬底-4晶圆片的尺寸

（2）底物温度- 室温到400℃

（3）源加热器- 室温到200℃

（4）3号源瓶

（5） 底座真空度<5*10~-(3)

（6）大小(长宽高-1450毫米*800毫米*2130毫米

应用范围：主要用于用于敏感基板上，温和条件下，原子层沉积生长涂层。