反应离子刻蚀机.docx

2022-08-27 05:47:00


仪器图片：

仪器名称：反应离子刻蚀机

仪器编号：

采购日期：

采购价格：

管 理 员：******

生产厂家：江苏鲁汶仪器有限公司

联系电话：

E-mail：

仪器地址：理生楼B228

所属分组：教学平台

规格型号：

设备状态：正常

性能指标及应用范围：

性能指标：

1、功率范围0-200W；

2、气体流量0-300sccm；

3、最大真空度：20mT；

4、样品尺寸要求：半径小于10cm；

5、可刻蚀气体种类：氩气，氧气，氮气，氦气。

应用范围：主要用于样品表面等离子体处理。